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洁净室静电、无尘、避震要求高,通道狭窄易磕碰
人员流失率大,用工成本高,且人工作业震动大,易产生裂片污染,影响良率
工艺流程复杂且离散,数据难以追溯
机器人高效代替人工作业,降低人工成本,提高生产效率。
多级减震设计,防止运输过程中晶圆碎裂,提高生产良率。
机器人本体宽度仅 550mm,可通过狭窄的风淋门,实现窄通道高效搬运。
采用智能管理系统主动收集生产数据信息,实时分析生产情况。