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半导体行业解决方案

行业痛点

  • 环境要求严格

    洁净室静电、无尘、避震要求高,
    通道狭窄易磕碰

  • 人工作业难

    人员流失率大,用工成本高,且人工作业震动大,
    易产生裂片污染,影响良率

  • 信息孤岛

    工艺流程复杂且离散,
    数据难以追溯

半导体车间整体物流解决方案

核心产品: 复合机器人H100

方案优势与价值

  • 提高生产效率

    机器人高效代替人工作业,降低人工成本,提高生产效率。

  • 提高生产良率

    多级减震设计,防止运输过程中晶圆碎裂,提高生产良率。

  • 实现跨厂房及窄通道搬运

    机器人本体宽度仅 550mm,可通过狭窄的风淋门,实现窄通道高效搬运。

  • 智能化柔性生产

    采用智能管理系统主动收集生产数据信息,实时分析生产情况。